圖1 2022年交付的 全自動SF6/N2 混氣回收分離裝置
圖2
圖3
圖4
SF6/N2 混氣回收分離裝置
歡迎租賃歡迎試用，一見高下；
完全有別于行業(yè)常用的膜分離回收技術(shù)，我公司自行開發(fā)的“膜組+低溫提純”技術(shù)。低溫冷凍為主，膜分離為主。其優(yōu)點(diǎn)在于：
無論何種比例的SF6都能處理，0-100%都行。
?純度保證，采用低溫固化法，回收分離后SF6純度≧99.99%以上的。
（注意：只有純度99.99%的SF6氣體才可以用于混氣配氣循環(huán)使用）
●符合排放要求：尾氣模組吸附，吸附后排出SF6的濃度≦100ppm。
設(shè)備參數(shù)
| 形式 | 無油活塞風(fēng)冷 | ||
| 理論排氣量 | m3/h | 30 | |
| 最大排氣壓力 | MPa | 5 | |
| 允許排氣壓力 | MPa | 4.5 | |
| SF6壓縮機(jī) | 最小允許吸氣壓力 | KPa | 53 |
| （國產(chǎn)無油） | 最大允許吸氣壓力 | MPa | 0.5 |
| 最高排氣溫度 | ℃ | 130 | |
| 功率 | KW | 11 | |
| 電源 | 3Φ 380V 50Hz | ||
| 抽氣速率 | m3/h | 50 | |
| 負(fù)壓回收泵 | 極限真空 | Pa | ≤50 |
| 國產(chǎn) | 潤滑油 | 無 | |
| 功率 | KW | 3 | |
| 電源 | 3Φ 380V 50Hz | ||
| 數(shù)顯真空計 | 上海 | ||
| 閥門 | 美國tony | ||
| 壓力傳感器 | 上海 | ||
| 低溫模組 | 上海 | ||
| 灌瓶裝置 | 天津 | m3/h | 3 |
| 真空泵 | 上海 | m3/h | 63 |
| 貯存容器 | 蘇州 | M3 | 1（碳鋼） |
| 分離容器 | 蘇州 | M3 | 0.12（不銹鋼） |
| 觸摸屏 | 國產(chǎn) | 寸 | 18 |
| 遠(yuǎn)程控制系統(tǒng) | 國產(chǎn) | 內(nèi)置遠(yuǎn)程控制系統(tǒng)，可無線遠(yuǎn)程控制和監(jiān)管系統(tǒng)，可實現(xiàn)手機(jī)，電腦等操控 |
圖5 2021年交付的 全自動SF6/N2混氣回收分離裝置
目前市場上常見的SF6混氣回收分離裝置一般采用進(jìn)口膜組技術(shù)
我們在應(yīng)用中發(fā)現(xiàn)進(jìn)口膜組技術(shù)具有以下致命缺點(diǎn)：
以上圖中可以看到直接采用進(jìn)口模組膜透的缺點(diǎn)：
第一流量必須穩(wěn)定，不得大于10m3/h。那就得用一個高等級的流量計來控制，流量計又會受到設(shè)備振動，環(huán)境溫度，氣體溫度，氣源壓力等多方面影響，當(dāng)產(chǎn)品被回收時內(nèi)部壓力越來越低，流量計就要實時調(diào)整開啟度，非常難以穩(wěn)定的控制，而流量不穩(wěn)定將導(dǎo)致出口SF6純度不穩(wěn)定、導(dǎo)致氮?dú)馀艢饪诘腟F6含量偏高。甚至模組損壞！
第二壓力穩(wěn)定，圖中可以看出要求模組入口和SF6出口壓力均為1.4Mpa,但是壓縮機(jī)排氣壓力會有波動，這個很難控制，另外模組3出口的壓力也要裝一個手動控制的調(diào)節(jié)閥，通過手動來控制模組的內(nèi)部壓力，非常繁瑣，而且如果壓力控制不好模組也容易損壞！
第三、溫度要求（要求40℃?1℃），那么就要加裝溫度控制器，那么問題又來了，壓縮機(jī)的排氣溫度是隨著壓力變化而變化的，也是隨著環(huán)境溫度變化而變化的，夏天壓縮機(jī)排氣溫度達(dá)到40℃以上，就得速度制冷，冬天就可能不到40℃，還得拼命升溫，這個太復(fù)雜！
第四、對混合氣體的清潔度，含水度等等氣源也有較高的要求。
因此綜上所訴，如果采用直接膜透的進(jìn)口膜組的工藝，有以下風(fēng)險：
1、不穩(wěn)定、難伺候；對操作人員素質(zhì)要求極高。
2、使用成本極高；
3、設(shè)備不皮實，只能是屬于實驗室級別，不能達(dá)到商品化的級別；
4、設(shè)備不具備通用性，只能回收混合氣體，不能回收純氣，只能回收指定比例的SF6混合氣體；
5、如果要達(dá)到穩(wěn)定的SF6出口高純度，后級還是要加低溫制冷，重復(fù)投資！
進(jìn)口膜組的技術(shù)狀態(tài)，和我們SF6混合氣體分離設(shè)備的現(xiàn)狀相契合。
有個別的樣機(jī)；
尚無商業(yè)化應(yīng)用；以下是我們交付設(shè)備的一些圖片和視頻
液化灌鋼瓶
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